晶圓封裝成型用晶圓封裝石墨模具

晶圓封裝成型用晶圓封裝石墨模具：
由于石墨資料具有化學(xué)穩(wěn)定性，不易受熔融晶圓封裝的浸潤，不會改動晶圓封裝的成分，石墨資料耐熱沖擊功能杰出，尺度隨溫度變化小等特色，所以近年來在晶圓封裝制作中成為不可缺少的晶圓封裝石墨模具資料，能夠用它來制作晶圓封裝管，彎管，漏斗及其它各種異型晶圓封裝瓶的鑄模。石墨制品石墨晶圓封裝石墨模具?封裝模及其它金剛石封裝晶圓封裝石墨模具石墨加工。

利用人造石墨資料熱變形極小的特色，可制作晶體管的封裝晶圓封裝石墨模具和支架，現(xiàn)已廣泛使用，它已成為發(fā)展半導(dǎo)體工業(yè)不可缺少的資料。此外，石墨晶圓封裝石墨模具也使用于鑄鐵用的鑄型，各種有色金屬用的耐久性鑄模，鑄鋼用鑄型，耐熱金屬（鈦，鋯，鉬等）用的鑄型及焊鋼軌用的鋁熱焊型的鑄型等。熱壓封裝金剛石東西用石墨晶圓封裝石墨模具,在金剛石東西制作過程中擔(dān)負著發(fā)熱元件和晶圓封裝石墨模具支撐的兩層作用,石墨晶圓封裝石墨模具質(zhì)量的優(yōu)劣,直接影響到金剛石東西的尺度精度、外觀形狀等。

熱壓封裝工藝要求:溫度達到(1000±2)℃,成型壓力16～50 MPa,保溫保壓時間為15～30min,環(huán)境為非真空狀態(tài)。在此工況條件下,既要求成型及發(fā)熱元件的石墨晶圓封裝石墨模具具有導(dǎo)電性、較高的電阻率、滿足的機械強度,還需要其具有杰出的抗氧化功能和較長的使用壽命,以確保金剛石東西的尺度精度和優(yōu)異功能。熱彎晶圓封裝石墨模具

現(xiàn)在,西方發(fā)達國家金剛石東西制作用石墨晶圓封裝石墨模具資料,主要為超細顆粒結(jié)構(gòu)、高純度和高石墨化度的石墨資料,要求其均勻粒徑小于15μm,甚至10μm以下,中等氣孔尺度小于2μm。用此炭素原料做成的石墨晶圓封裝石墨模具,氣孔率小、結(jié)構(gòu)致密、表面光潔度高、抗氧化性較強,均勻使用壽命可達30～40次。金剛石晶圓封裝石墨模具要求材質(zhì)硬度高，抗氧化功能好，加工精度高級特色，選用優(yōu)質(zhì)石墨原資料大大延長了晶圓封裝石墨模具使用壽命和提高了抗氧化功能,石墨抗氧化涂層