與銅電極相比，超細石墨電極具有明顯的優越性。

第一種是增加速度，每小時金屬蝕刻的體積被稱為處理速度。超細石墨電極的加工速度比銅電極快1.5-3倍。在大電流條件下可大面積加工。但由于銅電極熔點較低，其加工電流受到限制。

而且，加工后工件輪廓的公差為加工精度，與電極材料是否耐損耗密切相關。電火花加工時，電極材料有好幾種損耗；如體積損耗、端面損耗、側面損耗和角部損耗，4種損耗中，角部損耗最大，角部損耗大小決定電極的使用壽命。由于最終加工輪是由電極角部和邊緣的電極損耗決定的，如果電極最薄弱的部分能夠有效地抵抗損耗，則電極的壽命最長。

超細石墨棒的熔點比銅高2000℃，超細石墨棒的強度要高于銅的強度，處理時的角損失很小，這就意味著超細石墨的使用壽命長，加工成本低于銅電極。

其次是可進行高度精細的加工，13×13mm的超細石墨棒上可以鉆2813個直徑0.02mm的孔，孔與孔之間相距0.05mm，而強度比超細石墨低的銅，這樣的精細加工是無能為力的。

還有，它很容易加工，超細石墨被制成電極，只有1/3-1/5的銅電極。

最后，超細石墨的熱膨脹系數僅為銅的1/4，因此在加工過程中由于電極的加熱，沖模的原始設計尺寸不會改變，電極的尺寸穩定性良好。